基于MEMS技术的微型传感器具有降低汽车电子系统成本及提高其性能的优势，它们已开始逐步取代基于传统机电技术的传感器。在汽车领域，MEMS压力传感器营业收入2013年预计达到12.6亿美元，占当年总体产业营业收入的74%。 目前，汽车用
基于MEMS技术的微型传感器具有降低汽车电子系统成本及提高其性能的优势，它们已开始逐步取代基于传统机电技术的传感器。在汽车领域，MEMS压力传感器营业收入2013年预计达到12.6亿美元，占当年总体产业营业收入的74%。
目前，汽车用MEMS产品主要有
压力传感器、加速度计、陀螺仪和流量传感器等四大类数十个品种。主要用于提高安全性、系统运行稳定和可靠性。慕尼黑上海电子展重要展商如博世Bosch、飞思卡尔Freescale、大陆Continental、意法半导体ST等都是其主要生产商。
虽然汽车产量增长平稳，但随着汽车信息化水平和车联网应用的日益广泛，MEMS占整车的成本比例会随汽车信息化水平的提高进一步提高，且随着各国对环保越来越重视，MEMS在汽车中的应用范围和使用数量的增长将快于整车的产量增长。
在汽车领域，MEMS
压力传感器营业收入2013年预计达到12.6亿美元，占当年总体产业营业收入的74%，尽管未来几年汽车领域的增长势头将有所减弱，但该领域的营业收入仍将高于其它领域，2017年将占到总体产业营业收入的三分之二。在北美、欧洲以及法规成熟的其它地方，如澳洲、日本、加拿大与南韩，都强制要求汽车採用ESC系统，随着越来越多的汽车导入安全系统，在汽车中使用复合式MEMS惯性感测器也正快速增加中。
基于MEMS技术的微型
传感器具有降低汽车电子系统成本及提高其性能的优势，它们已开始逐步取代基于传统机电技术的传感器。在市场引导，科技推动，风险投入，政府介入等多重因素作用下，汽车MEMS传感器发展迅速，现已成为相关部门争先投资开发的热点。
随着纳米技术的进步，体积更小、造价更低、功能更强的微型传感器将广泛应用在汽车的各个方面。在未来几年内，包括发动机运行管理、废气与空气质量控制、刹车防抱死系统、车辆动力学控制、自适应导航、车辆行驶安全系统在内的汽车应用将为MEMS技术提供广阔的市场。
在高档汽车中，每辆车大约采用25只到40只传感器，技术上日趋成熟完善，可满足汽车对可靠性高、精度准确、成本低的要求，极大地推动了电子技术在汽车上的应用。
在汽车的主动与被动安全保护领域，市场趋势主要包括以下几个方面：首先，传感器趋于整合，例如将ESP与安全气囊放置在同一ECU之内；其次，传感器的界面将趋于标准化，其中包括数字界面，SPI、DSI以及PSI5。目前，市场上PSI5的采用率要高于DSI；第三，市场上对高性能陀螺仪的需求将逐渐增多，尤其是配有高级驾驶辅助系统如ACC的汽车；第四，中国和印度等国家已经在司法层面上做出规定，要求所有汽车100%装有安全气囊；第五、欧洲国家也颁布了有关行人保护的法规，车载卫星导航将成为主要趋势，因此正面撞击传感器将成为主要的解决方案。
MEMS技术的研究方向日益多元化，MEMS技术涉及的研究领域主要包括惯性器件，如加速度计与陀螺、AFM（原子力显微镜）、数据存储、三维微型结构的制作、微型阀门、泵和微型喷口、流量器件、微型光学器件、各种执行体、微型机电器件性能模拟、封装键合、医用器件、实验表征器件、压力传感器、麦克风以及声学器件等众多发展方向，应用内容涉及军事、民用等各个应用领域。
加工工艺多元化是指多种工艺相结合，如：传统的体硅加工工艺、表面牺牲层工艺、溶硅工艺、深槽刻蚀与键合相结合工艺、LIGA加工工艺、厚胶与电镀相结合的金属牺牲层工艺、MAMOS（金属空气MOSFET）工艺、体硅与表面牺牲层相结合工艺等，而具体的加工方法更是多种多样。
(来源：工控网（百站）)
编辑：系统管理员
